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靶材自动探伤是什么?

靶材自动探伤由溅射材料和靶托通过钎焊层连接。钎?#38050;?#37327;影响靶材界面层导热性能,甚至导致脱?#23500;?#34701;化。靶材的突然脱落会造成设备的?#29616;?#25439;坏,导?#36718;?#22823;经济损失。因此,靶材钎焊层必须具备良好的导电性和导热性, 同时还必须具备足够的强?#21462;?div>靶材自动探伤专用检测设备适用于靶材粘接检测和内部缺陷检测,可用于金属靶和陶瓷靶、平靶和管状靶。超声探伤原理是利用超声波经水耦合进入靶材板后,入射传播,当板中有缺陷会引起超声反射,若无缺陷,超声波到达靶材下表面后由于与粘接材料(或空气夹层)的声阻抗不匹配而导致回波幅度不同,超声仪器将超声反射信号经放大信号处理后实?#21271;?#35686;,实现粘接和缺陷的自动检测。
考虑到靶材粘接检测的特殊性以及靶材材料本身的声特性,系统采用聚焦超声纵波脉冲反射?#33322;?#27861;C扫描技术进行检测,实现对粘接率的计算和内部缺陷的探伤。对于用中间层材料结合方式(如软钎焊、硬钎焊和?#36153;?#26641;脂粘接等)的溅射靶材-背板结合面的孔洞、未结合、氧化物?#24615;擁热?#38519;可进行?#34892;?#30340;检验。其他用途的材料结?#29616;?#37327;无损检测也可参?#24080;?#29992;。

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